氣體質(zhì)量流量控制器的流量測量以及控制是不會受到溫度以及壓力的影響的，跟傳統(tǒng)的設(shè)備來比較，是不需要配置溫度、壓力的變送器，也不需要進(jìn)行溫度、壓力的補(bǔ)償就可以直接測量質(zhì)量流量。如果需要保持氣體和混合氣體作為混料或者是配料，又或者是進(jìn)行優(yōu)化化學(xué)反應(yīng)的過程，那么氣體質(zhì)量流量控制器就能夠很好的完成這一門技術(shù)。想要的控制氣體的給定量，那么在很多過程中是對流量控制要求較高的工藝比較有用。如果是很寬的工作壓力范圍，氣體質(zhì)量流量控制器可以適用于多種氣體介質(zhì)，并且還有很寬的流量方法。

　　氣體質(zhì)量流量控制器的原理是什么？

　　氣體質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與氣體質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源，數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。

　　氣體質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點是什么？

　　(1)流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)。

　　對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導(dǎo)致較大的誤差；對于氣體質(zhì)量流量控制器看完這些一目了然則一般可以忽略不計。

　　(2)測量控制的自動化

　　氣體質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號輸出。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動計量﹑數(shù)據(jù)自動記錄﹑計算機(jī)管理等。對氣體質(zhì)量流量控制器而言，還可以實現(xiàn)流量的自動控制。通常，模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA，數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口，能非常方便地與計算機(jī)連接，進(jìn)行自動控制。

　　(3)地定量控制流量

　　氣體質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。

　　(4)適用范圍寬

　　有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa;可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品小流量范圍可達(dá)0～5sccm，大流量范圍可達(dá)0～200slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%，流量控制范圍是滿量程的2~100%(量程比為--50:1)，因此氣體質(zhì)量流量控制器在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。